二氧化硅复合图形化蓝宝石衬底(sio₂-pss):在蓝宝石图形表面沉积一层二氧化硅薄膜,形成复合结构。sio₂折射率(约1.46)介于蓝宝石(1.77)与gan(2.45)之间,可进一步减少全反射损耗,提升光提取效率;同时其绝缘性可抑制漏电流。相比单层pss,复合衬底能优化外延生长均匀性、改善抗静电能力,且工艺兼容性好。常用于高效led及micro led领域,以更低的光学损耗实现更高亮度。
| 项目 | 规格 |
| 高度(h) | 1.85~2.05μm |
底宽(w) | f:2.75-2.80μm 4-2:2.80-2.85μm 4-1:2.85-2.90μm e:2.90-2.95μm |
灰阶 | f:90-100 4-2:70-90 4-1:55-70 e:50-55 |
| 包形间距(d) | 3±0.05μm |
| 弧度 | <0.18um |
| 平边夹角 | 90° |
| 蓝宝石高度 | 0.2-0.3mm |